看一看：先进的大尺寸测量技术

——无导轨激光干涉仪随着航空航天、重型机械、发电设备、船舶工业的发展，对大尺寸丈量的要求越来越高。1些精密配合的大型零部件，尺寸到达10几米乃至几10米，精度要求到达IT7以上。如何丈量这些零部件长时间以来1直是困扰计量工作者的技术困难。目前实际利用的丈量手段仍以外径千分尺、内径测杆等传统丈量工具为主，远远不能满足需求。清华大学曾研制出1套很好的对准方法，与激光干涉仪相结合，用于丈量大尺寸可到达很高的精度，但该方法必须使用高精度导向导轨，限制了在生产、安装现场的使用。因此，开发高精度、无导轨大尺寸丈量技术，1直是长度计量领域的1个重要课题。 激光技术的快速发展为大尺寸精密丈量开辟了崭新的领域。近210年来，出现了多种无导轨大尺寸丈量方法，其中，遭到广泛关注的无导轨激光干涉仪是最近几年来发展很快的1种先进丈量方法。 小数重合法是无导轨激光干涉仪的基础。它是1种丈量和数据处理方法，常常使用于量块检定中。通俗地说，这类丈量方法就像用不同长度的几把“尺子”去量同1个物体，只要得到各次丈量值的尾数，即可导出物体的实际长度，它其实不关心丈量的实际进程。 激光干涉仪是以波长为基本计量单位的，多波长激光器的发展，是实现不同长度“尺子”的基础。激光器可以稳定地输出多种波长的激光，利用光学拍波技术，可以将这些单波长合成为1组波长相近、间隔均匀的“合成波长链”。“合成波长链”是1个塔形结构，塔顶是最高1级合成波，其波长最长，塔底则是单波长。丈量时，干涉仪以不同波长的激光工作，从最高级（最长波）开始，逐级降落，直至单波长。激光干涉仪的丈量结果是在各种波长干涉下的1组剩余相位，以此可推导出总丈量长度，由于每次的丈量值都是剩余相位，与丈量进程无关，因此不需要导向导轨。 选择合适的“合成波长链”是无导轨激光干涉仪的关键。长波干涉保证了丈量值的唯1性，而丈量精度则取决于短波干涉。为了简化丈量进程，还有1种只使用1个合成波的方法，如采取几百毫米的合成波，借助于普通丈量工具（如卷尺）测出大致的合成波周期数，剩余相位由干涉仪测出，这类方法只需1次丈量即可完成，系统结构也非常简练，但由于所使用的波长较长什么样的房子可以强拆，在丈量精度上一定有所损失。 各国学者对无导轨激光干涉仪技术进行了大量研究，研制开发了各种激光干涉仪，归纳以下： （1）CO2激光干涉仪 CO2激光器是1种非常适合无导轨激光丈量的光源，它在10.6μm波段具有丰富的谱线，相邻谱线的波长差散布也比较均匀，构成的“合成波长链”的波长可从10.6μm到25m，因此，CO2激光干涉仪1直是无导轨激光干涉仪的研究重点。从1979年开始，由直流干涉系统到各种情势的光外差系统，CO2激光干涉仪历经多次改进拆迁时户口挂靠什么意思，其中1种典型方案是上世纪910年代澳大利亚研制的外差干涉仪，它通过激光器的腔长控制，顺序输出6种波长，用声光调制器的零级衍射作为本振光，构成外差系统，丈量精度可达4×10⑻。 （2）Ne-Xe激光干涉仪 Ne-Xe激光器可以输出3.53μm和3.37μm两个波长，合成波长为84.2μm。从“合成波长链”的角度考虑，波长太短难以保证丈量结果的唯1性，为此，系统加入了He-Ne激光器的3.39μm谱线，将“合成波长链”延伸到464μm。Ne-Xe激光干涉仪的最大优点是结构简单，丈量精度可达1.8×10⑺。 （3）He-Ne激光干涉仪 中国计量科学研究院研制的纵向塞曼He-Ne激光干涉仪，与成都工具研究所开发的双频激光干涉仪不同，其稳频点选在两条激光增益曲线之间，产生1对频差为1080MHz的左、右旋偏振光（这两个偏振光不在同1增益曲线上），合成波长为278mm。利用光栅丈量干涉的剩余相位。系统丈量长度可达100m，丈量精度为±（40+1.5×10⑹）。 He-Ne激光器在3.39μm处谱线丰富，但其中3.3922μm谱线的自发辐射系数比其它谱线大很多，抑制了其它谱线的发射。清华大学利用甲烷在3.3922μm附近的1条吸收谱线，抑制了He-Ne激光这条谱线的强度，成功研制出了3.39μm波段双波长激光干涉仪，其“合成波长链”从3.39μm到1m，单波稳定性为1×10⑻。 （4）变波长激光干涉仪 变波长激光干涉仪采取两个激光器，利用谐振腔长与输出频率的关系，构成“无级”的波长系列，在理想的环境下，13m长度范围的丈量精度为70μm。 （5）线性调频半导体激光干涉仪 最近几年来，半导体激光器线性调频技术的发展，为无导轨激光干涉仪提供了1个理想的光源，成为无导轨激光资讯分类行业动态帮助文档展会专题报道5金人物商家文章